论文《一种稳定的腐蚀液研究 - 第八届中国国际半导体照明论坛》介绍了用于半导体材料加工的新型腐蚀液。该研究旨在提高腐蚀液的稳定性与环保性,以满足半导体照明产业的需求。通过实验分析,作者提出了一种配方优化方案,有效提升了腐蚀液的性能和使用寿命。研究成果对提升半导体器件制造工艺具有重要意义。
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