ZJ-2型热阴极电离规的灵敏度测试分析 - 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会.pdf

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2025-12-14 00:45 | 查看全部 阅读模式

《ZJ-2型热阴极电离规的灵敏度测试分析》是针对一种常用真空测量设备的性能研究。该文在第十六届中国真空学会质谱分析和检漏专委会年会及第十一届中国计量测试学会真空计量专委会年会上发表,旨在通过实验方法对ZJ-2型电离规的灵敏度进行系统测试与分析。文章详细介绍了测试原理、实验装置及数据处理方法,评估了该设备在不同真空环境下的响应特性。研究成果为提高电离规测量精度提供了理论依据和技术支持,对真空技术领域具有重要参考价值。

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ZJ-2型热阴极电离规的灵敏度测试分析 - 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会
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