LTCC工艺精确对位控制技术研究 - 第十七届全国混合集成电路学术会议.pdf

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2025-12-14 00:14 | 查看全部 阅读模式

《LTCC工艺精确对位控制技术研究 - 第十七届全国混合集成电路学术会议》是一篇关于低温共烧陶瓷(LTCC)工艺中对位控制技术的研究论文。该文针对LTCC在微波器件制造中的高精度要求,探讨了影响对位精度的关键因素,并提出了一系列优化措施。通过实验验证,该研究有效提升了LTCC器件的装配精度和成品率,为高性能射频组件的制造提供了理论支持和技术参考。本文在第十七届全国混合集成电路学术会议上发表,展示了我国在LTCC技术领域的最新研究成果,具有重要的学术价值和工程应用意义。

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LTCC工艺精确对位控制技术研究 - 第十七届全国混合集成电路学术会议
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