GBT 16594-1996 微米级长度的扫描电镜测量方法.pdf

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2025-9-29 13:10 阅读模式

一、基本信息

文档名称:GBT 16594-1996 微米级长度的扫描电镜测量方法

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总页数:6页


二、简介

《GBT 16594-1996 微米级长度的扫描电镜测量方法》是中国国家标准,规定了使用扫描电子显微镜对微米级长度进行测量的方法。该标准适用于材料科学、半导体制造等领域,为微小结构尺寸的精确测量提供了技术依据。标准中详细描述了测量原理、仪器要求、样品制备、操作步骤及数据处理方法,确保测量结果的准确性与可重复性。通过扫描电镜的高分辨率成像能力,能够实现对微米级物体尺寸的直观观察和定量分析,广泛应用于科研和工业检测中。


三、预览

GBT 16594-1996 微米级长度的扫描电镜测量方法
2025-9-7 11:04 上传
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