[冶金] GBT 34504-2017 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法

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蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法
Measurementmethodforsurfacemetalcontaminationonsapphirepolishedsubstratewafer

摘要:本标准规定了蓝宝石抛光衬底片表面深度为5nm以内的残留金属元素的全反射X光荧光光谱测试方法。

标准编号：GB/T34504-2017
标准类型：GB
发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2017年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2018年1月1日
关键词：

GB/T 34504-2017 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法.pdf

2024-9-22 21:48 上传

GBT 34504-2017 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法.pdf

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衬底, 金属元素, 蓝宝石, 抛光, 残留

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