文档名：蚀刻添加剂对精细线路制作能力提升的研究
终端电子产品的飞速发展对印制电路板产品的线路等级提出了更高的要求,因此提升精细线路产品的制作能力和成品良率对工厂至关重要.文章探讨了在传统减成法的基础上引入一种能直接添加到蚀刻液中的蚀刻添加剂(EA-X,EtchingAdditive-X),通过试验验证:当面铜厚度为17.20μm和21.24μm时,加入EA-X对线宽/线距为30/30μm、35/35μm和40/40μm精细线路制作能力的提升作用.试验结果表明:加入蚀刻添加剂后,精细线路的线宽制程能力指数明显提升、一次良率上升、蚀刻因子增大.使用面铜厚度为35μm的测试板进行蚀刻试验,发现该蚀刻添加剂的作用原理为加速纵向蚀刻的同时充当护岸剂减缓侧蚀.本论文为减成法精细线路制作提供有效的改善思路.
作者：钟忆青张威风金立奎孙炳合
作者单位：珠海方正科技高密电子有限公司,广东珠海519175
母体文献：2018中日电子电路秋季大会暨秋季国际PCB技术/信息论坛论文集
会议名称：2018中日电子电路秋季大会暨秋季国际PCB技术/信息论坛
会议时间：2018年11月1日
会议地点：东莞
主办单位：中国印制电路行业协会
语种：chi
分类号：
关键词：印制电路板 精细线路 蚀刻添加剂 性能表征
在线出版日期：2021年9月26日
基金项目：
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