[化工] GBT 36401-2018 表面化学分析 X射线光电子能谱薄膜分析结果的报告

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admin 发表于 2024-9-22 11:47 | 查看全部阅读模式

表面化学分析X射线光电子能谱薄膜分析结果的报告
Surfacechemicalanalysis—X-rayphotoelectronspectroscopy—Reportingofresultsofthin-filmanalysis

摘要:本标准给出了采用xPS对基材上薄膜的分析报告所需的最少信息量要求的说明。这些分析涉及化学组成和均匀薄膜厚度的测量，以及采用变角XPS}XPS溅射深度剖析、峰形分析和可变光子能量XPS的方式对非均匀薄膜作为深度函数的化学组成的测量。

标准编号：GB/T36401-2018
标准类型：GB
发布单位：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2018年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2019年1月1日
关键词：

GB/T 36401-2018 表面化学分析 X射线光电子能谱薄膜分析结果的报告.pdf

2024-9-22 11:47 上传

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化学分析, 射线, 光电子, 薄膜, 表面

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