半导体行业EPA区接地系统测试方法研究.pdf
在半导体行业中,静电放电是导致半导体器件失效的主要原因之一,接地连接系统作为静电防护系统中基础环节,起着重要的保障作用.深入分析半导体工艺的前道工艺流程和后道加工过程,设计了生产过程所需的防静电接地系统架构.依据Q/QJA118～123标准,研究了接地电阻测量原理,提出了两种接地电阻的“辅助电极法”和“环线法”,能够满足半导体行业设计人员、检测人员需求.避免了由于接地布局不正确或接地电阻测量不准确而给产品带来的静电损伤,最终保证半导体产品的全生命周期达到最佳静电防护效果.
作者：乔玉娥梁法国丁立强荆晓冬任宇龙翟玉卫
作者单位：中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄050051
母体文献：ESD-S第七届静电防护与标准化国际研讨会论文集
会议名称：ESD-S第七届静电防护与标准化国际研讨会
会议时间：2018年11月7日
会议地点：北京
主办单位：中国标准化研究院,中国空间技术研究院
语种：chi
分类号：TVTM9
关键词：半导体器件 制备过程 静电防护 接地系统
在线出版日期：2021年12月15日
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