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GBT 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件

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admin 发表于 2024-9-26 13:59 | 查看全部阅读模式

离子束蚀刻机通用技术条件
Genericspecificationofionbeametchingsystem

摘要:本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存等。本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其它专用离子束蚀刻机亦可参照执行。

标准编号：GB/T15861-1995
标准类型：CP
发布单位：CN-GB
发布日期：1995年1月1日
强制性标准：否
实施日期：1996年1月1日
关键词：规范,蚀刻,机械,离子束,machinery,specification,ionbeams,etching,specifications,spectfication

GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件.pdf

2024-9-26 13:59 上传

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