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[电子元器件与信息技术] GBT 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范

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admin 发表于 2024-9-26 13:59 | 查看全部阅读模式

离子束蚀刻机通用规范
Generalspecificationofionbeametchingsystem

摘要:本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其他专用离子束蚀刻机亦可参照执行。

标准编号：GB/T15861-2012
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2012年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2013年1月1日
关键词：离子束,蚀刻机,机械,IONBEAMS,EROSIONMACHINES,MECHANISM,MACHINERY,MACHINES

GB/T 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范.pdf

2024-9-26 13:59 上传

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离子束

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