GBT 42106-2022 纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法

纳米技术三维纳米结构与器件的加工方法离子束辐照诱导应变法
Nanotechnology—Fabricationofthreedimensionalnanostructuresanddevices—Astrainmethodinducedbyionbeamirradiation

摘要:本文件描述了离子束辐照诱导应变技术构建三维纳米结构与器件的加工方法，主要包括加工原理、材料与设备、环境条件、加工方法。本文件适用于离子束辐照诱导直立纳米线和平面纳米薄膜的空间应变，进而实现三维空间中由一维纳米线和二维纳米薄膜构成的三维纳米结构与器件。

标准编号：GB/T42106-2022
标准类型：GB
发布单位：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
发布日期：2022年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2023年1月1日
关键词：

GB/T 42106-2022 纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法.pdf

2024-9-19 14:55 上传 GBT 42106-2022 纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法.pdf

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