GBT 16527-1996 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范

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admin 发表于 2024-9-26 13:56 | 查看全部阅读模式

硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范
Specificationforphotoresist/E-beamresistforhardsurfacephotoplates

摘要:本标准规定了硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂涂层的要求、试验方法等内容。本标准适用于硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂的涂层检验。

标准编号：GB/T16527-1996
标准类型：CP
发布单位：CN-GB
发布日期：1996年1月1日
强制性标准：否
实施日期：1997年1月1日
关键词：半导体器件,电子束,规范,感光板,耐腐蚀性,specifications,electronbeams,corrosionresistance,semiconductordevices,specification

GB/T 16527-1996 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范.pdf

2024-9-26 13:56 上传

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硬面, 电子束, 感光

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