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[电子元器件与信息技术]
GBT 38447-2020 微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
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admin
发表于 2024-9-26 13:08
|
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微机电系统(MEMS)技术MEMS结构共振疲劳试验方法
Micro-electromechanicalsystemtechnology—FatiguetestingmethodofMEMSstructureusingresonantvibration
摘要:本标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法,包括设备、试验环境样品要求、试验条件和试验步骤。本标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验。
标准编号:GB/T38447-2020
标准类型:GB
发布单位:国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
发布日期:2020年1月1日
强制性标准:否
实施日期:2020年1月1日
关键词:
GB/T 38447-2020 微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法.pdf
2024-9-26 13:08 上传
GBT 38447-2020 微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法.pdf
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结构
,
共振
,
微机
,
疲劳
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系统
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