GBT 43682-2024 纳米技术 亚纳米厚度石墨烯薄膜载流子迁移率及方块电阻测量方法

纳米技术　亚纳米厚度石墨烯薄膜载流子迁移率及方块电阻测量方法
Nanotechnology—Measurementmethodsforcarriermobilityandsheetresistanceofgraphenefilmsofsub-nanometerthickness

摘要:本文件描述了亚纳米厚度石墨烯薄膜的霍尔器件样品制备与载流子迁移率及方块电阻测量的原理、设备、器件制备及测量过程、计算方法、不确定度的分析与计算，以及测量报告等。本文件适用于长度和宽度均大于100μm的亚纳米厚度石墨烯薄膜的载流子迁移率（<104cm2/Vs）和方块电阻的测量。

标准编号：GB/T43682-2024
标准类型：GB
发布单位：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
发布日期：2024年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2024年1月1日
关键词：

GB/T 43682-2024 纳米技术　亚纳米厚度石墨烯薄膜载流子迁移率及方块电阻测量方法.pdf

2024-9-19 14:50 上传 GBT 43682-2024 纳米技术　亚纳米厚度石墨烯薄膜载流子迁移率及方块电阻测量方法.pdf

文件大小:

880.69 KB

下载次数:

60

高速下载