一、基本信息
文档名称：T_CASAS 048—2025_碳化硅单晶生长用等静压石墨
文档格式：pdf格式
文档大小：0.7MB
总页数：11页
二、简介
《T_CASAS 048—2025 碳化硅单晶生长用等静压石墨》是一项针对碳化硅单晶生长过程中所使用等静压石墨材料的行业标准。该标准规定了等静压石墨的技术要求、测试方法、检验规则及包装标识等内容，旨在提升碳化硅单晶生长的质量和稳定性。标准适用于制造碳化硅半导体器件所需的高纯度等静压石墨材料，对推动我国半导体材料产业的发展具有重要意义。
三、预览
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