一、基本信息
文档名称：T_CASAS 036—2025_碳化硅单晶生长用等静压石墨构件纯度测定方法 辉光放电质谱法
文档格式：pdf格式
文档大小：0.71MB
总页数：13页
二、简介
《T_CASAS 036—2025 碳化硅单晶生长用等静压石墨构件纯度测定方法 辉光放电质谱法》是一项针对碳化硅单晶生长过程中关键材料——等静压石墨构件的纯度检测标准。该标准规定了采用辉光放电质谱法进行元素分析的具体操作流程与技术要求，旨在提高碳化硅单晶的质量与性能。通过该方法，可精确测定石墨构件中微量元素的含量，确保其在高温、高压环境下的稳定性和可靠性。该标准适用于碳化硅半导体材料生产领域的质量控制与工艺优化，对推动高性能电子器件的发展具有重要意义。
三、预览
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