非晶硅_微晶硅过渡区材料的PECVD法制备与特性研究 - 第十届中国太阳能光伏会议.pdf

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2026-1-12 19:21 | 查看全部 阅读模式

会议论文《非晶硅_微晶硅过渡区材料的PECVD法制备与特性研究》探讨了通过等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术制备非晶硅与微晶硅过渡区材料的方法。研究分析了材料的结构和光电特性,为高效太阳能电池的开发提供了理论依据和技术支持。

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非晶硅_微晶硅过渡区材料的PECVD法制备与特性研究 - 第十届中国太阳能光伏会议
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