调制周期对ZrB2_BN纳米多层膜结构和性能的影响 - 二〇〇八全国功能材料科技与产业高层论坛.pdf

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2026-1-12 18:17 | 查看全部 阅读模式

本文研究了调制周期对ZrB2-BN纳米多层膜结构和性能的影响。通过改变沉积过程中的调制周期,分析了薄膜的微观结构、硬度及热稳定性等性能变化。结果表明,调制周期对薄膜的层状结构和性能有显著影响,优化调制周期可有效提高材料的综合性能。

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调制周期对ZrB2_BN纳米多层膜结构和性能的影响 - 二〇〇八全国功能材料科技与产业高层论坛
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