纳米膜厚的量值溯源初探 - 2008年全国几何量精密测量技术学术交流会.pdf

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2026-1-12 17:29 | 查看全部 阅读模式

会议论文《纳米膜厚的量值溯源初探》探讨了纳米尺度下薄膜厚度测量的量值溯源问题。文章分析了当前纳米膜厚测量的技术现状,提出了建立可靠量值溯源体系的重要性。通过研究相关标准与测量方法,作者旨在为纳米技术领域的精确测量提供理论支持和技术指导,推动我国在精密测量领域的发展。

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纳米膜厚的量值溯源初探 - 2008年全国几何量精密测量技术学术交流会
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