JBT 5630-1991 半导体器件扩散炉能耗分等

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admin 发表于 2024-9-24 16:51 | 查看全部阅读模式

半导体器件扩散炉能耗分等
Diffusionfurnaceforsemiconductordevices.Gradingofenergyconsumption

摘要:本标准规定了半导体器件扩散炉能耗分等。本标准适用于电子工业企业半导体器件制造过程中用作各种扩散、氧化、退火和合金工艺以及对其他材料进行特殊处理的扩散炉。

标准编号：JB/T5630-1991
标准类型：
发布单位：CN-JB
发布日期：1991年1月1日
强制性标准：否
实施日期：1992年1月1日
关键词：半导体器件,扩散炉,能耗分等

JB/T 5630-1991 半导体器件扩散炉能耗分等.pdf

2024-9-24 16:51 上传

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分等, 扩散, 能耗, 半导体器件

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