会议论文《类金刚石膜Ti_Zr掺杂对DLC性能的影响》探讨了在类金刚石膜中掺入钛和锆元素对其性能的影响。研究通过实验分析表明,适量的Ti和Zr掺杂可以改善DLC膜的硬度、耐磨性和热稳定性。该成果为高性能薄膜材料的开发提供了理论依据和技术支持,具有重要的应用价值。
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