会议论文《管式扩散中POCI3使用量的测量及对扩散工艺的影响》探讨了在管式扩散过程中三氯氧磷（POCl3）使用量的精确测量方法及其对扩散工艺的影响。该研究针对太阳能光伏产业中的扩散工艺优化问题，通过实验分析不同POCl3用量对掺杂效果的影响，提出了提高均匀性和效率的建议，为提升太阳能电池性能提供了理论依据和技术支持。
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