会议论文《磁控溅射碳纳米管SnO2材料的工艺对性能的影响》探讨了采用磁控溅射技术制备碳纳米管掺杂SnO2材料的工艺参数对其性能的影响。研究通过优化溅射功率、气体比例及退火条件，分析了材料的结构与气敏特性。结果表明，合理调控工艺参数可显著提升材料的灵敏度与响应速度，为高性能气敏传感器的开发提供了理论依据与实验支持。
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