热铁盘法CVD金刚石抛光机的结构设计 - 庆祝中国人造金刚石诞生45周年大会暨第五届郑州国际超硬材料及制品研讨会.pdf

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2026-1-12 16:15 | 查看全部阅读模式

会议论文《热铁盘法CVD金刚石抛光机的结构设计》介绍了用于化学气相沉积（CVD）金刚石薄膜抛光的设备结构。该研究针对热铁盘法工艺特点，提出了一种高效、稳定的抛光机设计方案，旨在提高金刚石薄膜的表面质量与加工效率。论文为CVD金刚石的工业化应用提供了重要的技术支持，具有良好的工程实践价值。

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