会议论文《温度对等离子渗硼源极溅射行为及渗硼层成分的影响》探讨了不同温度下等离子渗硼过程中源极溅射行为的变化及其对渗硼层成分的影响。研究结果表明，温度升高会显著改变溅射速率和渗硼层的化学组成，从而影响材料的表面性能。该研究为优化等离子渗硼工艺提供了理论依据和技术支持。
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