会议论文《晶圆表面奈米微粒標準片之研製》发表于第七届海峡两岸计量与质量研讨会，探讨了纳米颗粒标准片在半导体制造中的应用。该研究旨在开发一种高精度、稳定的纳米微粒标准片，用于检测和校准微电子制造过程中的表面污染物。通过优化制备工艺，提升了标准片的均匀性和重复性，为提升产品质量和可靠性提供了重要支持。
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