微机械气流式全方位水平姿态传感器敏感机理的有限元分析 - 中国电子学会第十五届电子元件学术年会.pdf

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2026-1-12 13:47 | 查看全部阅读模式

会议论文《微机械气流式全方位水平姿态传感器敏感机理的有限元分析》探讨了基于气流效应的微机械传感器在水平姿态检测中的应用。通过有限元方法对传感器结构进行仿真分析，研究其敏感机理与性能优化。该研究为提高传感器精度和稳定性提供了理论依据，对微机电系统设计具有重要参考价值。

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