会议论文《微机械气流式全方位水平姿态传感器气体摆特性的三维有限元分析》探讨了微机械传感器中气体摆的动态特性。通过三维有限元方法,对气流式传感器在不同姿态下的性能进行了仿真分析,为提高传感器精度和稳定性提供了理论依据。
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