微机械气流式全方位水平姿态传感器气体摆特性的三维有限元分析 - 中国电子学会第十五届电子元件学术年会.pdf

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2026-1-12 13:47 | 查看全部 阅读模式

会议论文《微机械气流式全方位水平姿态传感器气体摆特性的三维有限元分析》探讨了微机械传感器中气体摆的动态特性。通过三维有限元方法,对气流式传感器在不同姿态下的性能进行了仿真分析,为提高传感器精度和稳定性提供了理论依据。

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微机械气流式全方位水平姿态传感器气体摆特性的三维有限元分析 - 中国电子学会第十五届电子元件学术年会
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