复色差动共焦扫描测量方法 - 二〇〇八年高精度几何量光电测量与校准技术研讨会.pdf

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2026-1-12 12:37 | 查看全部 阅读模式

会议论文《复色差动共焦扫描测量方法》介绍了基于复色差动技术的共焦扫描测量方法,用于提高几何量光电测量的精度。该方法通过利用不同波长光的干涉特性,实现对微小位移的高灵敏度检测。文章在2008年高精度几何量光电测量与校准技术研讨会上发表,为光学测量领域提供了新的技术思路。

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复色差动共焦扫描测量方法 - 二〇〇八年高精度几何量光电测量与校准技术研讨会
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