基于嵌入式IC制造工艺特种气体监控系统设计 - 中国自动化学会中南六省(区)第26届学术年会.pdf

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2026-1-12 11:57 | 查看全部阅读模式

会议论文《基于嵌入式IC制造工艺特种气体监控系统设计》针对集成电路制造过程中特种气体的安全监测需求，提出了一种基于嵌入式系统的监控方案。该系统具有实时性强、精度高和稳定性好的特点，能够有效提升IC生产过程中的安全水平。文章通过实验验证了系统的可行性，为半导体制造领域的气体安全管理提供了参考依据。

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