基于反射式三光栅光学系统的金属光栅编码器 - 二〇〇八年高精度几何量光电测量与校准技术研讨会.pdf

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2026-1-12 11:51 | 查看全部 阅读模式

会议论文《基于反射式三光栅光学系统的金属光栅编码器》介绍了用于高精度几何量测量的新型光学系统。该系统采用反射式三光栅结构,提高了测量精度和稳定性。通过分析光路设计与信号处理方法,论文展示了该编码器在光电测量中的优势,为相关领域的技术发展提供了理论支持和应用参考。

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基于反射式三光栅光学系统的金属光栅编码器 - 二〇〇八年高精度几何量光电测量与校准技术研讨会
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