会议论文《基于IC工艺甲醛气体传感器的研究》发表于第六届全国信息获取与处理学术会议。该研究探讨了利用集成电路工艺制造甲醛气体传感器的可行性,旨在提高传感器的集成度和稳定性。通过优化材料选择和结构设计,实现了对甲醛浓度的高灵敏度检测,为环境监测和健康安全领域提供了新的技术方案。
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