单晶硅微磨损损伤机理研究 - 2008年中国机械工程学会年会摩擦学专题会议.pdf

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2026-1-12 10:23 | 查看全部 阅读模式

会议论文《单晶硅微磨损损伤机理研究》发表于2008年中国机械工程学会年会摩擦学专题会议。该文探讨了单晶硅材料在微尺度下的磨损行为及其损伤机制,通过实验分析了不同载荷和滑动速度对材料表面形貌的影响,揭示了微磨损过程中裂纹萌生与扩展的规律,为提高微电子器件的可靠性提供了理论依据。

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单晶硅微磨损损伤机理研究 - 2008年中国机械工程学会年会摩擦学专题会议
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