三氟化氮纯化方法综述 - 全国特种气体第十二次年会.pdf

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2026-1-12 08:52 | 查看全部 阅读模式

会议论文《三氟化氮纯化方法综述》在全国特种气体第十二次年会上发表,系统总结了三氟化氮(NF3)的多种纯化技术。文章分析了吸附、精馏、化学反应等方法的原理及应用效果,探讨了不同工艺的优缺点,为提高NF3纯度提供了理论依据和技术参考。

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三氟化氮纯化方法综述 - 全国特种气体第十二次年会
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