会议论文《三氟化氮纯化方法综述》在全国特种气体第十二次年会上发表,系统总结了三氟化氮(NF3)的多种纯化技术。文章分析了吸附、精馏、化学反应等方法的原理及应用效果,探讨了不同工艺的优缺点,为提高NF3纯度提供了理论依据和技术参考。
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