会议论文《一种薄型模态转换型微超声波电机》介绍了新型微超声波电机的设计与实现。该电机采用模态转换原理,具有结构紧凑、体积小的特点,适用于微型驱动系统。研究通过优化振动模式转换,提高了电机的输出性能和效率。论文为微机电系统提供了新的动力解决方案,具有广泛的应用前景。
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