一种新型结构的硅微加速计的设计 - 中国电子学会第十四届青年学术年会.pdf

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2026-1-12 08:41 | 查看全部 阅读模式

会议论文《一种新型结构的硅微加速计的设计》由中国电子学会第十四届青年学术年会发表。该文提出了一种创新的硅微加速度计结构,旨在提高传感器的灵敏度与稳定性。通过优化设计,该加速计在性能上实现了显著提升,具有良好的应用前景。研究内容涵盖了结构设计、仿真分析及实验验证等多个方面,为微机电系统的发展提供了新的思路。

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一种新型结构的硅微加速计的设计 - 中国电子学会第十四届青年学术年会
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