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VHF-PECVD大面积Showerhead平板电极间电场和流场的数值模拟 - 第十届中国太阳能光伏会议.pdf

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2026-1-12 08:15 | 查看全部阅读模式

会议论文《VHF-PECVD大面积Showerhead平板电极间电场和流场的数值模拟》探讨了在高频率等离子体增强化学气相沉积技术中，平板电极间的电场与流场分布特性。通过数值模拟方法，研究了电极结构对等离子体均匀性的影响，为优化薄膜沉积工艺提供了理论依据。

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VHF-PECVD大面积Showerhead平板电极间电场和流场的数值模拟 - 第十届中国太阳能光伏会议.pdf

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电场, 电极, 大面积, 数值, 中国

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