SEM及AFM校准放大倍率标样的研究 - 第七届海峡两岸计量与质量研讨会.pdf

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2026-1-12 08:02 | 查看全部 阅读模式

会议论文《SEM及AFM校准放大倍率标样的研究》探讨了扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)在放大倍率校准中的关键问题。文章提出了一种高精度的标样设计与应用方法,以提高两种仪器在微观测量中的准确性和一致性。该研究对于提升纳米尺度测量的可靠性具有重要意义,并为相关领域的标准化工作提供了理论支持。

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SEM及AFM校准放大倍率标样的研究 - 第七届海峡两岸计量与质量研讨会
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