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ICP增强磁控溅射沉积ZrN薄膜的力学性能研究 - 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛.pdf

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2026-1-12 07:37 | 查看全部阅读模式

本文介绍了通过ICP增强磁控溅射技术制备ZrN薄膜的研究，重点分析了其力学性能。研究结果表明，该方法能有效提高薄膜的硬度和致密性，同时改善其耐磨性能。论文为ZrN薄膜在表面工程领域的应用提供了理论支持和技术参考。

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ICP增强磁控溅射沉积ZrN薄膜的力学性能研究 - 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛.pdf

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磁控溅射, 学术, 表面工程, 沉积, 第二届

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