会议论文《C_C复合材料坩埚在直拉单晶炉中的应用研究》探讨了碳-碳复合材料坩埚在直拉单晶硅生产中的性能与优势。研究分析了其热稳定性、化学惰性及对晶体质量的影响，表明该材料能有效提升单晶硅的纯度和均匀性，具有广阔的应用前景。
文档为pdf格式，0.51MB，总共6页。
举报
