会议论文《金属有机化学气相沉积法制备Al掺杂ZnO透明导电膜》介绍了采用金属有机化学气相沉积（MOCVD）技术制备Al掺杂ZnO透明导电膜的研究。该研究旨在提高ZnO薄膜的导电性能和透明性，以满足光电器件的应用需求。通过优化工艺参数，实现了高质量Al掺杂ZnO薄膜的制备，并对其结构和性能进行了表征。该成果为透明导电材料的开发提供了新思路。
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