会议论文《谐振式硅微结构传感器综合测试分析仪》发表于第11届全国敏感元件与传感器学术会议。该文介绍了针对谐振式硅微结构传感器设计的综合测试分析系统，详细阐述了其工作原理、硬件架构及测试方法。通过实验验证，该分析仪能够有效提高传感器的测试精度与效率，为相关领域的研究与应用提供了有力支持。
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