聚二甲基硅氧烷气动微型蠕动泵制作工艺的研究 - 第11届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf

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2026-1-11 21:25 | 查看全部 阅读模式

会议论文《聚二甲基硅氧烷气动微型蠕动泵制作工艺的研究》探讨了基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)材料的微型蠕动泵的制造方法。该研究针对微流控系统中液体输送的需求,提出了一种高效、低成本的制作工艺。通过优化设计与加工参数,提升了泵的性能与可靠性,为微型化、集成化流体控制设备提供了理论支持和技术参考。

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聚二甲基硅氧烷气动微型蠕动泵制作工艺的研究 - 第11届全国敏感元件与传感器学术会议
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