磁控直流辉光等离子体放电特性 - 第六届华东三省一市真空学术交流会.pdf

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2026-1-11 20:55 | 查看全部 阅读模式

会议论文《磁控直流辉光等离子体放电特性》发表于第六届华东三省一市真空学术交流会。该文研究了磁控直流辉光等离子体的放电特性,分析了磁场对放电稳定性、电子密度及电压电流特性的影响。通过实验与理论分析相结合,文章为等离子体应用提供了重要参考,尤其在薄膜制备和表面处理领域具有实际意义。

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磁控直流辉光等离子体放电特性 - 第六届华东三省一市真空学术交流会
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