会议论文《硅基集成式微型平面纳米级定位平台控制》发表于第11届全国敏感元件与传感器学术会议。该文探讨了基于硅基材料的微型平面定位平台的控制技术，重点研究了纳米级精度的定位方法与实现途径。通过集成传感器与执行器，提升了系统的响应速度与控制精度，为微电子制造与精密测量提供了新思路。
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