会议论文《硅微电容式超声换能器谐振频率的有限元分析》探讨了利用有限元方法对硅微电容式超声换能器的谐振频率进行仿真与分析。该研究旨在优化器件设计，提高其性能与灵敏度。通过建立三维模型并进行数值模拟，作者分析了结构参数对谐振频率的影响，为后续实验提供了理论依据。
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