会议论文《真空镀膜设备真空系统主泵的配置》发表于中国真空学会2009年真空工程学术交流会。文章主要探讨了真空镀膜设备中真空系统主泵的配置方法与优化策略，分析了不同泵型在实际应用中的性能特点及适用场景，为提高真空系统的效率和稳定性提供了理论依据和技术参考。
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