会议论文《片上集成MEMS射频滤波器》发表于第11届全国敏感元件与传感器学术会议，探讨了微机电系统（MEMS）技术在射频滤波器领域的应用。该文介绍了通过微加工技术实现的高性能、小型化射频滤波器设计与集成方法，为无线通信系统提供了更优的解决方案。研究展示了MEMS滤波器在频率选择性、插入损耗和带宽等方面的优越性能，具有广泛的应用前景。
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