氨热法生长氮化镓晶体中的流场模拟 - 中国工程热物理学会传热传质学2009年学术会议.pdf

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2026-1-11 18:59 | 查看全部 阅读模式

会议论文《氨热法生长氮化镓晶体中的流场模拟》探讨了在氨热法生长氮化镓晶体过程中,流场对晶体生长的影响。通过数值模拟方法,研究者分析了不同工艺参数下流体的流动特性,为优化生长条件提供了理论依据。该研究有助于提高氮化镓晶体的质量和生长效率,对半导体材料的发展具有重要意义。

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氨热法生长氮化镓晶体中的流场模拟 - 中国工程热物理学会传热传质学2009年学术会议
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