会议论文《氦离子化色谱仪在电子气体(硅烷)分析中的应用》介绍了氦离子化色谱仪在硅烷等电子气体分析中的实际应用。该文通过实验数据验证了该技术在检测硅烷纯度及杂质成分方面的高效性与准确性，为电子气体的分析提供了可靠的技术支持，具有重要的工程应用价值。
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